容量性近接センサ

容量センサーは、測定する物理量または機械的量を容量変化のための変換デバイスに変換するために、さまざまなタイプのコンデンサをセンシング要素として使用します。実際、変数パラメータを持つコンデンサです。

1)良好な温度安定性

容量性センサの容量価値は、一般に電極材料とは独立しており、温度係数の低い材料を選択するのに役立ち、発熱量が少ないため安定性にほとんど影響を及ぼしません。抵抗センサは銅の損失を有し、熱によるゼロドリフトを発生しやすい。

2) シンプルな構造

容量性センサーは簡単な構造を持ち、製造が容易で、高精度を保証します。いくつかの特別な測定を達成するために非常に小さくすることができます。高温、強い放射、強い磁場などの過酷な環境で動作し、大きな温度に耐えることができます。変化、高圧、高衝撃、過負荷などに耐える;超高温・低圧差を測定でき、磁気加工も測定できます。

3)良好な動的応答

電極付きプレート間の静電引力は非常に小さく(約10^(-5)N)であるため、容量センサーはエネルギーをほとんど必要としないため、その可動部分は非常に小さく薄くすることができるので、質量は非常に軽いので、その自然周波数は非常に高く、応答動的時間は短く、数MHzの周波数で動作することができます動的測定に特に適しています。また、誘電損失が少ないため、より高い周波数で電力を供給できるため、システムの動作周波数が高くなります。高速変化パラメータの測定に使用できます。

4) 非接触測定と高感度

回転軸の振動や偏心、小さなボールベアリングの放射状クリアランス等の非接触測定非接触測定を使用する場合、容量センサは平均化効果を有し、ワークの表面粗さの影響を測定に与えることができます。

上記の利点に加えて、容量センサは、電極を備えたプレート間の静電引力が非常に小さく、必要な入力力と入力エネルギーが非常に小さいため、極めて低い圧力、力、小さな加速度、変位などを測定することができます。それは高い決断で非常に敏感にすることができ、0.01μm以下の変位を感知することができる。空気などの誘電損失が少ないため、差動構造がブリッジ型で接続される際に発生する残渣が極めて少ないため、回路が高倍率で回路を高くし、高感度にします。

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